반 - 도체에 대한 보조 장비

• 연마 슬러리 공급 시스템

  레벨 센서가있는 하나의 연마 슬러리 공급 버킷 (60L 순 용량)
  하나의 믹싱 시스템
  유량 5-12 리터/분의 하나의 공급 시스템 (공급 펌프 및 필터 포함)
  

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• SI 웨이퍼 화학 물질 공급 시스템

  마약 교반 시스템
  혼합 액체 공급 시스템
  이 시스템은 연마 슬러리 마약 교반, 혼합 ​​및 공급 기능을 기계 엔드 포인트에 제공합니다.

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