레벨 센서가있는 하나의 연마 슬러리 공급 버킷 (60L 순 용량)
하나의 믹싱 시스템
유량 5-12 리터/분의 하나의 공급 시스템 (공급 펌프 및 필터 포함)
반 - 도체에 대한 보조 장비
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SI 웨이퍼 화학 물질 공급 시스템마약 교반 시스템자세히 보기
혼합 액체 공급 시스템
이 시스템은 연마 슬러리 마약 교반, 혼합 및 공급 기능을 기계 엔드 포인트에 제공합니다.
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